电子特气是半导体产业最上游的核心材料,被称为电子行业的“血液”,重要性不亚于光刻机。在半导体制造材料总成本中,电子特气排名第二,占据了13%的份额。
什么是电子特气?简单来说,它是半导体生产环节所需的特殊气体,如SiH4、PH3、B2H6等等。半导体用电子特气的种类繁多,达110余种,其中30多种会应用十分普遍。
在半导体各步工艺中,尤其是在半导体薄膜沉积环节,电子特气都发挥重要的作用。
电子特气的技术门槛高,对纯度有着极高的要求。电子特气的纯度若是不合格,在其中混入了水汽、氧等杂质,会令半导体表面容易生成氧化膜;而若是混入了颗粒杂质,则会造成短路、线路损坏等。
由此可以看出,电子特气的纯度对电子器件的使用寿命、成品率、性能等有着直接的影响。
随着半导体制程的逐渐推进,对电子特气的纯度需要也更高。这相关企业的技术实力,也提出了更高的要求。
目前,全球电子特气市场大多被欧洲、日本、美国企业所垄断。美国空气化工、普莱克斯、德国林德集团、法国液化空气等企业,将全球电子特气市场90%以上的份额,掌控在手中。
中国电子特气市场同样被外资制约,上述巨头占据了中国将近85%的市场。每年,我国都要花费高昂的金额,进口电子特气。
数据显示,中国一年要进口24.51亿美元的特种气体。我国电子特气依赖进口的境况,增加了国产芯片的成本,不利于竞争;同时,这威胁着我国高精尖行业的发展。
为了打破垄断,不少中国企业开始加快追逐的脚步。
在提纯氨技术上,金宏气体率先带领中国突围,已经拿下了将近50%的中国市场。到2020年末时,金宏气体已经取得200项专利,并且自主研发超纯氨、高氮提纯华亚等产品。
金宏气体已经获得了SK海力士、三星电子、中芯国际、联芯等巨头的认证,彰显了其实力。
未来,金宏气体将进一步推动我国在高端特气领域的发展,弥补行业空白。金宏气体展望,公司希望在2021年实现17.5亿元的营收。
此外,昊华科技也是中国特气领先厂商,实现了部分产品的进口替代。
希望我国在电子特气领域,能够迎来更多的突破。
文/BU 审/球子
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